北京大學(xué)彭練矛院士團(tuán)隊(duì)高性能壓力傳感突破性能瓶頸
柔性壓力傳感器因其在人形機(jī)器人、生物醫(yī)療和人機(jī)交互等前沿領(lǐng)域的巨大應(yīng)用潛力而備受關(guān)注。其中,電容式壓力傳感器以其低功耗、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)成為研究熱點(diǎn),但其性能(尤其是靈敏度和線性度)長(zhǎng)期以來受限于傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)思路,這極大制約了其在需要精確力反饋與動(dòng)態(tài)控制的復(fù)雜場(chǎng)景中的應(yīng)用。
針對(duì)這一挑戰(zhàn),北京大學(xué)電子學(xué)院胡又凡-彭練矛團(tuán)隊(duì)提出了一種全新的“接觸主導(dǎo)的局域電位移場(chǎng)增強(qiáng)”設(shè)計(jì)策略。該策略通過巧妙地設(shè)計(jì)傳感器結(jié)構(gòu),成功地在寬壓力范圍內(nèi)同時(shí)實(shí)現(xiàn)了超高的靈敏度、極佳的線性度和廣闊的傳感范圍。這一設(shè)計(jì)包含兩個(gè)核心要素:一是由魯棒的導(dǎo)電復(fù)合材料與金屬覆蓋層構(gòu)成的分級(jí)微結(jié)構(gòu)電極;二是通過薄層或高介電常數(shù)(high-k)材料實(shí)現(xiàn)的具有高單位面積電容的介電層。這種設(shè)計(jì)使得傳感器的電容變化主要由接觸區(qū)域的局域增強(qiáng)電場(chǎng)主導(dǎo),從而突破了傳統(tǒng)傳感器的性能瓶頸。
該團(tuán)隊(duì)研制的傳感器展現(xiàn)了世界領(lǐng)先的性能。其壓力響應(yīng)(歸一化電容變化量)超過3000,比以往的最高紀(jì)錄提升了一個(gè)數(shù)量級(jí)以上;傳感范圍超過1兆帕(MPa),部分器件可達(dá)2兆帕。尤為突出的是,該傳感器在0—100千帕(kPa)的寬壓力范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)了高達(dá)9.22kPa?1的靈敏度和0.9998的近乎完美的線性度(R2值)。此外,該傳感器還展示了出色的機(jī)械魯棒性、對(duì)微小壓力(0.1帕)的超高分辨率以及快速響應(yīng)能力(約15毫秒)。
研究進(jìn)一步揭示了該設(shè)計(jì)的工作機(jī)理。分級(jí)微結(jié)構(gòu)確保了在不同壓力下,總有新的微結(jié)構(gòu)參與接觸,從而將材料的應(yīng)變保持在線性區(qū)域內(nèi),保證了寬范圍的線性響應(yīng)。而“導(dǎo)電復(fù)合材料+金屬覆蓋層”的混合電極設(shè)計(jì),則巧妙地解決了薄金屬層在形變下容易開裂失效的問題,保證了信號(hào)的穩(wěn)定與可靠。基于其卓越的性能,團(tuán)隊(duì)將此傳感器與柔性低維半導(dǎo)體晶體管集成,在2.66伏的低工作電壓下,實(shí)現(xiàn)了高達(dá)4x10?的電學(xué)響應(yīng),充分利用了晶體管的開關(guān)比,極大地提升了集成器件的信噪比。
團(tuán)隊(duì)通過兩個(gè)典型應(yīng)用場(chǎng)景展示了該技術(shù)的巨大潛力。在流體物理性質(zhì)評(píng)估中,搭載該傳感器的機(jī)械臂能夠精確測(cè)量不同液體的靜水壓,從而估算其密度,并能捕捉到液滴表面張力引起的微小動(dòng)態(tài)變化。在機(jī)器人操控任務(wù)中,集成該傳感器的機(jī)械手能夠根據(jù)物體的剛度自適應(yīng)地控制抓取力,無論是柔軟的棉花還是堅(jiān)硬的乒乓球都能穩(wěn)定抓取且不變形,甚至能在物體滑落時(shí)進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整,其壓力分辨率比人類皮膚高出一個(gè)數(shù)量級(jí)。
以上相關(guān)成果以《接觸主導(dǎo)的局域電位移場(chǎng)增強(qiáng)型壓力傳感》(“Contact-dominated localized electric-displacement-field-enhanced pressure sensing”)為題,于2025年8月29日在線發(fā)表于《自然·通訊》(Nature Communications)。該項(xiàng)研究得到了國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金等項(xiàng)目以及納米器件物理與化學(xué)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的支持。北京大學(xué)電子學(xué)院博士后馬超、湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)研究院碩士生葉懷東、東南大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院碩士生史曉微和北京大學(xué)電子學(xué)院博士生陳雨凡為論文共同第一作者,胡又凡和彭練矛為論文共同通訊作者。該成果為下一代高性能柔性電子學(xué)、智能機(jī)器人和人機(jī)交互系統(tǒng)的發(fā)展提供了關(guān)鍵的技術(shù)支撐,有望推動(dòng)其在更廣泛領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用。
光電式液位傳感器LLM12DH05無機(jī)械運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu),不存在卡死等諸多問題,檢測(cè)可靠性高,可用于魚缸、熱水器、咖啡機(jī)等設(shè)備中做液位檢測(cè)。其還可以國產(chǎn)替代SST LLC系列型號(hào):LLC200D3LSH,LLC200D3SH,LLC210D3LSH,LLC210D3SH,LLC210D324-003,LLC210D324-005,LLC510D3,LLC510D3L,LLC610D3SH,LLC700D3SH,LLC710D3L24-005,LLC710D3LSH,LLC710D3SH,LLC710D324-005,LLC101000,LLC105000。
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