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國際電子商情訊 有報道稱，29日晚間，臺積電南科晶圓18廠5nm全廠停產，原因是該廠在產線不慎使用了部分疑似受污染的氣體。
報道指出，當涉事工廠發現問題之時，氣體污染影響的范圍較大，因此臺積電除了暫時將18廠5nm全廠停產，還立即通知已回家的員工返回工廠控制事態，并將一些供應商擋在廠區之外。
國際電子商情了解到，氣體污染對芯片制造會帶來一定影響。聯華林德中國區總裁唐瑞平在2019年時曾向《國際電子商情》姊妹刊《電子工程專輯》介紹，幾乎所有制造過程中都需要使用大量氮氣，用以凈化和抑制化學敏感工序。因為“工業氣體是半導體發展必不可少的血液。”據悉，聯華林德是全球第三大氣體公司——林德（Linde）和臺灣地區工業氣體制造商在80年代末、90年代初于大陸地區合資成立的子公司。
唐瑞平指出“對電子行業而言，設備投資很貴，工藝要求很復雜，良率是競爭力的保證。要怎樣得到好的良率，除了工藝保證之外，工業氣體的純度、穩定性、可靠性都是先決條件。業內最近兩年發生過一些良率事故，都是因為氣體純度出了問題。”
臺積電回應：傳言嚴重夸大，事件影響甚微
對此，臺積電今(30)日回應說“傳言過于夸大”，并強調，經內部確認是有部分來自廠商供應的氣體疑似受污染，已即時調度其他氣體供應，為確保生產品質無虞，正進行嚴密后續作業，此事件對營運并未造成顯著影響，后續將持續追蹤。
臺積電總裁魏哲家也在近期法說會上表示，5nm制程良率良好，在智能手機與高效運算相關應用驅動下，需求持續強勁，估今年5nm制程將占整體晶圓銷售的20%。